真空泵的使用：
真空泵在其工作壓強下，應能排走真空設備工藝過程中產生的全部氣體量。滿足真空設備的極限真空及工作壓強要求。由于每種真空泵都有它的極限真空度，因而，有時選用一種泵不能滿足抽氣要求，需要幾種泵組合起來，互相補充才能滿足抽氣要求。若設備嚴格要求無油時，應該選擇各種無油泵，如：無油真空泵、水環泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。如果要求不嚴格，可以選擇有油的旋片真空泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、擋油阱等，也能達到清潔真空要求。
每種泵都有一定的工作壓強范圍，如：SKA型水環式真空泵工作壓強范圍760mmHg~25mmHg（絕壓），在這樣寬壓強范圍內，泵的抽速隨壓強而變化（詳細變化情況參照泵的性能曲線），其穩定的工作壓強范圍為760~60mmHg。因而，泵的工作點應該選在這個范圍之內較為適宜，而不能讓它在25~30mmHg下長期工作。
小型真空泵指的就是微型真空泵，因為體積小通常把微型真空泵叫做小型真空泵。微型真空泵（即小型真空泵)是指：具備一進一出的抽氣嘴、排氣嘴各一個，并且在進口處能夠持續形成真空或負壓；排氣嘴處形成微正壓；工作介質主要為氣體，體積小巧的一種儀器。
旋片真空泵的真空度不達標，可由外漏，內漏，油孔梗塞，泵油質量不良或凈化蛻變，有水汽等可凝性物質，儀器儀表失真，泵運轉不正常等引起。
外漏較多時，排氣口可看到白色蒸汽，我們常稱為冒煙。油標處有較多氣泡，手在排氣口上可感到排氣壓力，低級排氣閥處油面有較多氣泡，功率會有所添加，這時，首先應檢查氣鎮閥是否已關好。由于新泵出廠每臺都在泵口測極限壓力，所以如有外漏景象，應對泵口及管道，閥門，容器逐一檢查。外軸封無效，油標無油，油孔悶頭漏氣也可形成外漏。
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